定向CVD生长炉--OTF-1200X-50-DSL

r   OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。
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r技术参数r

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r 炉体结构r

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• r 采用双层壳体结构，并带有风冷系统r
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• r 一个滑轨安装在炉体下端，可通过一6“的触摸屏来控制炉体移动方向、滑动速度和往返次数r
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• r 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可提高加热效率和延长使用寿命。r
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r 功率r

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r 1.5KWr

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r 电压r

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r AC220V，单相r

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r 最高共工作温度r

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r 1200℃（≤1小时）r

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r 连续工作温度r

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r 1100℃r

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r 加热区域r

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• r 加热区：200mm(单温区）r
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• r 恒温区：60mm(±1℃）@1000℃r
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• r 通过管堵位置和炉体移动可形成想得到的温度梯度r
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r（点击图片查看大图）r

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r 加热元件r

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r 掺钼铁铬铝（表面涂有高温氧化锆涂层，可延长其使用寿命）r

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r 炉管r

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• r 高纯石英管r
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• r 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm Lr
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• r 仪器加热前，必须放入管堵，以防止热量辐射影响法兰的密封性r
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r 温控系统r

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• r 采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序r
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• r 设置有温度过高和断偶保护系统r
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• r 控温精度：±1℃r
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• r 可选测PC控制软件，将升温程序和温度曲线导入到电脑中r
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• r 控温仪表操作视频r
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r 炉体滑动控制系统r

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• r 触摸屏控制r
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• r 炉体移动有手动和自动控制两种控制状态，在手动状态和自动状态下均可设定左右移动的速度，但只有在自动状态下才能设定左右移动的次数。r
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• r 含蜂鸣报警器，当炉体触碰到限位开关就会产生报警，并切断控制电路，使炉体停止移动。r
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• r 可显示高温炉内的炉温，与之通讯r
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r 密封法兰r

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• r 仪器中配有一套不锈钢密封法兰（上面已安装不锈钢针阀和机械压力表）r
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• r 法兰上有一Φ6.35的铠装孔，可将热电偶插入到炉管中，更准确地测量样品的实际温度
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r 真空度r

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• r 10E-5 torr （用分子泵）r
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• r 10E-2 torr （用直联式机械泵）
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r 滑轨长度r

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r 1200mmr

r r r r r 操作视频r r r 点击查看r r r r r

r 产品尺寸r

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• r 315 x 300 x 380  mm (炉体) r
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• r 1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形)r
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• r 360 x 180 x 300 mm（电器控制柜）r
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r 重量r

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r 100KGr

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r 质保期r

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r 一年质保期，终生维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件损耗件）r

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r 质量认证r

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r   CE certifiedr

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